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本文標(biāo)題:掃描電子顯微鏡的電子束與樣品

信息分類:站內(nèi)新聞　新聞來(lái)源：未知發(fā)布時(shí)間：2014-5-9 11:00:03

掃描電子顯微鏡的電子束與樣品

掃描電子顯微鏡的電子束與樣品作用區(qū)內(nèi)，還發(fā)射與樣品物質(zhì)其他性

質(zhì)有關(guān)信號(hào)。例如：與樣品化學(xué)成分分布相關(guān)的，

掃描電子顯微鏡的背散射電子，特征射線，俄歇電子，陰極熒光，樣

品吸收電流等；與樣品晶體結(jié)構(gòu)相關(guān)的，背散射電子衍射現(xiàn)象的探測(cè)。

掃描電子顯微鏡的與半導(dǎo)體材料電學(xué)性能相關(guān)的，二次電子信號(hào)、電

子束感生電流信號(hào)；在觀察薄樣品時(shí)產(chǎn)生的透射電子信號(hào)等。

掃描電子顯微鏡的目前分別有商品化的探測(cè)器和裝置可安裝在掃描電

鏡樣品分析室，用于探測(cè)和定性定量分析樣品物質(zhì)的相關(guān)信息。

掃描電子顯微鏡對(duì)于固體材料的研究應(yīng)用非常廣泛，沒(méi)有任何一種儀器

能夠和其相提并論。

掃描電子顯微鏡的對(duì)于固體材料的全面特征的描述，掃描電子顯微鏡

是至關(guān)重要的。